Фоторезіст
 
а б в г д е ж з и й к л м н о п р с т у ф х ц ч ш щ ъ ы ь э ю я
 

Фоторезіст

Фоторезіст (від фото... і англ.(англійський) resist – чинити опір, перешкоджати), полімерний світлочутливий шар, нанесений на поверхню напівпровідникової пластини з окисною плівкою. Ф. використовуються в напівпровідниковій електроніці і мікроелектроніці (див., наприклад, Планарная технологія ) для здобуття на пластині «вікон» заданої конфігурації, що відкривають доступ до неї травильника. В результаті експонування Ф. через накладений на нього скляний шаблон потрібного малюнка ультрафіолетовим випромінюванням (інколи електронним променем) властивості його міняються: або розчинність Ф. різко зменшується (негативний Ф.), або він руйнується і стає легко удалімим (позитивний Ф.). Подальша обробка розчинником утворює у Ф. «вікна» на неопромінених ділянках негативного Ф. або опромінених ділянках позитивного Ф. Тіпічниє Ф.: негативні – шари полівінілового спирту з солями хромових кислот або ефірами коричної кислоти, шари циклізованного каучуку з добавками що викликають «зшивання» макромолекул під дією світла; позитивні – феноло- або крезолоформальдегидная смола з про -нафтохинондіазідом. Див. також Фотолітографія .

загрузка...

 

  Літ.: Фотолітографія і оптика, М. – Берлін, 1974; Мазель Е. З., Прес Ф. П., Планарная технологія кремнієвих приладів, М., 1974.