Іонний мікроскоп, прилад, в якому для здобуття зображень застосовується пучок іонів, що створюється термоіонним або газорозрядним іонним джерелом. За принципом дії І. м. аналогічний електронному мікроскопу . Проходячи через об'єкт і випробовуючи в різних його ділянках розсіяння і поглинання, іонний пучок фокусується системою електростатичних або магнітних лінз і дає на екрані або фотошарі збільшене зображення об'єкту (див. Електронна і іонна оптика ).
Створене лише декілька дослідних зразків І. м. Роботи по його удосконаленню стимулюються тим, що він повинен володіти вищим роздільною здатністю в порівнянні з електронним мікроскопом. Довжина хвилі де Бройля для іонів значно менше, ніж для електронів (при однаковій прискорюючій напрузі), унаслідок чого в І. м. дуже малі ефекти дифракція, яка в електронному мікроскопі обмежує його роздільну здатність. Інші переваги І. м. — менший вплив зміни маси іонів при великій прискорюючій напрузі і краща контрастність зображення. Розрахунки показують що, наприклад, контрастність зображення органічних плівок товщиною в 50, викликана розсіянням протонів, у декілька разів повинна перевищувати контрастність, викликану розсіянням електронів.
До недоліків І. м. відносяться помітна втрата енергії іонів навіть при проходженні через дуже тонкі об'єкти, що викликає руйнування об'єктів, велика хроматична аберація (див. Електронні лінзи ), руйнування люмінофора екрану іонами і слабка фотографічна дія. Ці недоліки привели до того, що, не дивлячись на перераховані вище переваги І. м. в порівнянні з електронним, він не знайшов доки практичного вживання. Значно ефективнішим виявився І. м. без лінз — іонний проектор .
Літ.: The proceedings of the 3d International conference on electron microscopy, L., 1956, р. 220—99.
