|
Мал. 6. Принципова схема растрового електронного мікроскопа, що просвічує (ПРЕМ): 1 — автоемісійний катод; 2 —промежуточний анод; 3 — анод; 4 — система, що відхиляє, для юстирування пучка; 5 — діафрагма «освітлювача»; 6, 8 — системи, що відхиляють, для розгортки електронного зонда; 7 — магнітна довгофокусна лінза; 9 — апертурна діафрагма; 10 — магнітний об'єктив; 11 — об'єкт; 12, 14 — системи, що відхиляють; 13 — кільцевий колектор розсіяних електронів; 15 — колектор нерозсіяних електронів (забирається при роботі із спектрометром); 16 — магнітний спектрометр, в якому електронні пучки повертаються магнітним полем на 90°; 17 — система, що відхиляє, для відбору електронів з різними втратами енергії; 18 — щілина спектрометра; 19 — колектор; ВЕ — потік вторинних електронів hn — рентгенівське випромінювання.
|
