Планарний транзистор. Стадії виготовлення (зображення)

Стадії виготовлення планарного транзистора: а — вихідна пластина; б — після першого окислення; у — після першої обробки фотолітографії; г — після створення базової області і другого окислення; д — після другої обробки фотолітографії; е — після створення емітерної області і третього окислення; ж — після третьої обробки фотолітографії; з — після металізації; 1 — вихідний кремній з електропровідністю n-тіпа; 2 — маскуюча плівка двоокиси кремнію; 3 — базова область; 4 — емітерна область; 5 — металева плівка (контакти).