Мікроінтерферометр, прилад, вживаний для вимірів нерівностей на зовнішніх поверхнях з направленими слідами механічної обробки, а також для визначення товщини плівок, величини малому переміщенні і т. і. Вперше М. розроблені Ст П. Лінником в 1933. У оптичній схемі М. використані інтерферометр і мікроскоп, що дозволяє одночасно здійснювати спостереження досліджуваної поверхні і інтерференційної картини, отриманої в результаті взаємодії двох когерентних світлових хвиль: хвилі порівняння, відбитої від зразкового дзеркала, і хвилі, відбитої від досліджуваної поверхні і деформованої мікронерівностями, що є на ній. Інтерференційна картина в монохроматичному світлі є чергуванням темних і світлих смуг, форма яких в збільшеному масштабі відтворює профіль контрольованої ділянки поверхні ( мал. ). Висота h нерівності поверхні визначається через викривлення а і ширину b інтерференційної смуги: h = а/b × l / 2 , де l — середня довжина хвилі використовуваної ділянки спектру. За допомогою М. можна вимірювати висоти 0,03 до 1 мкм. Виготовляють М., що працюють в білому і монохроматичному світі. М. забезпечують окулярним мікрометром для вимірів або окуляром і фотокамерою для реєстрації інтерференційної картини. Деякі М. мають пристрою для вимірів нерівностей до 10 мкм по відбитках, знятих з досліджуваних поверхонь.
Літ.: Егоров Ст А., Оптичні і щуповиє прилади для виміру шорсткості поверхні, 2 видавництва, М., 1965.
