Універсальна іоннолучевая установка «Везувій-1» (СРСР) (зображення)

 Мал. 1. Універсальна іоннолучевая установка «Везувій-1» (СРСР) з енергією іонів до 200 кев , що дозволяє здійснювати іонне легування напівпровідникових матеріалів практично будь-якими домішками: 1 — пульт управління; 2 — джерело і прискорювач іонів; 3 — магнітний сепаратор іонів; 4 — камера легування.