Компаратор інтерференційний
 
а б в г д е ж з и й к л м н о п р с т у ф х ц ч ш щ ъ ы ь э ю я
 

Компаратор інтерференційний

Компаратор інтерференційний , прилад для метрологічних вимірів довжин заходів в довжинах хвиль світла або для порівняння довжин заходів на основі інтерференції світла . Довжини кінцевих заходів до 100 мм вимірюються на інтерферометрі Кестерса. Кінцеві міри більшої довжини, а також штрихові заходи вимірюються на універсальному До. і. Світло від джерела 1 у вигляді паралельного пучка променів дзеркалом 2 прямує на напівпрозору скляну розділяючу пластину 3. Частина світу, відбита пластиною, падає на кінцевий еталон 4, встановлений на рухливій каретці. Передня поверхня еталону А — вільна, а до задньої В притирається плоска скляна пластина С. После віддзеркалення від плоскості А і В світло проходіт пластину 3 і дзеркалом 5 прямує в зорову трубу Т. Частина світу від дзеркала 2, прошедшая пластину 3, дзеркалом 6 прямує на дзеркало 7, жорстко пов'язане з фотоелектричним мікроскопом 8. Останній може переміщатися уздовж столу 9 з укладеною на нім штриховою мірою 10. Відбитий дзеркалом 7 світло повертається до дзеркала 6 і прямує на пластину. Світло, відбите останньою, дзеркалом 5 також прямує в зорову трубу Т. Положення столу фіксується інтерференційним індикатором 11, що представляє інтерферометр Майкельсона, одне з дзеркал якого жорстко пов'язане із столом.

  При порівнянні еталонною, кінцевою і вимірюваною штриховою заходів положенням нульового штриха штрихової міри фіксується під мікроскопом, а переміщенням каретки з кінцевою мірою добиваються рівності довжин доріг обох пучків променів, що утворилися при віддзеркаленні світла від поверхні А заходи і дзеркала 7. Потім переміщенням дзеркала 7 і мікроскопа 8 добивається рівність довжин доріг обох пучків променів, що утворилися при віддзеркаленні світла від дзеркала 7 і поверхні В заходи. Необхідне для цього переміщення дзеркала 7 і мікроскопа 8 , очевидно дорівнює довжині кінцевої міри. Нове положення дзеркала відносно штрихової міри фіксується мікроскопом і інтерференційним індикатором. Для порівняння довжин кінцевих заходів в паралельний пучок променів, що йде від джерела світла, поміщають трубчастий еталон (еталон Фабрі — Перо), а дзеркало 7 встановлюють так, щоб його плоскість ділила порівнянну міру на частини, кратні довжині еталону. Точність виміру довжин заходів на універсальному До. і.  ~1·10 -7

  Літ.: Захарьевський А. Н., Інтерферометри, М., 1952; Бржезінський М. Л., Інтерференційні компаратори для виміру довжини штрихових заходів, в кн.: Праці інститутів Держкомітету, ст 78 (138), М. — Л., 1965; Волкова Е. А. [і ін.]. Універсальний інтерферометр системи ВНІЇМ для виміру кінцевих заходів і геодезичних кварцевих жезлів завдовжки до 1200 мм, в кн.: Праці Всесоюзного науково-дослідного інституту метрології, ст 26 (86), М. — Л., 1955.

  А. Ст Кондрашков.

Схема інтерференційного компаратора.