Вакуумні матеріали, матеріали, вживані у вакуумних апаратах і приладах. Основні вимоги, що пред'являються к В. м., — низький тиск пари при робочих температурах і можливість легкого знегажування. Ст м. для оболонок вакуумних приладів, крім того, мають бути мало газопроникні. Тиск пари, газовідділення і газопроникність Ст м. — основні властивості, що визначають верхню межу досяжного вакууму і можливість його збереження в перебіг тривалого часу. Інші вимоги к В. м. визначаються сферою їх застосування (див. Вакуумна техніка ). Наприклад, матеріали для вакуумних ламп повинні володіти достатньою міцністю при високих температурах і бути хорошими ізоляторами або, навпаки, провідниками.
Ст м. можна підрозділити на наступні основні групи: конструкційні матеріали, геттери (газопоглиначі), вакуумні масла і матеріали, вживані як робочі рідини насосів і вакуумметрів (наприклад, ртуть), мастики, мастила, лаки і цементи. Деякі властивості найважливіших конструкційних Ст м. приведені в таблиці. 1—3.
Таблиця. 1. — Неорганічні конструкційні матеріали
Матеріали
Температура при тиску пари 1,3 мн/м-кодом»
( 10 -5 мм рт. ст. ) , °С
Температурний коефф.(коефіцієнт) лінійного розширення в інтервалі від 0 до 100°С (a•10 7 ),°С -1
Температура плавлення,
°С
Метали
Алюміній
841
238
658
Вольфрам
2564
44
3410
Залізо
1083
119
1535
Мідь
934
165
1083
Молібден
1955
55
2625
Нікель
856
133
1452
Паладій
1157
116
1554
Платина
1585
90
1773,5
Срібло
751
189
960,5
Тантал
2402
65
2996
Титан (іодідний)
1336
81(20—200°c)
1725
Цирконій (іодідний)
1836
54(20—200°c)
1845
Сплави
Латунь Л-68
—
184
938
Монель
—
137
1250
Ніхром
—
125
1400
Фернико (ковар)
—
45—55 (20—300°c)
1450
Сталь неіржавіюча
1Х18Н9 (ЕЯ-1)
—
160
1400
1Х18Н9Т (ЕЯ-1Т)
—
160
1450
Різні матеріали
Електрографіт
2129
8—18 (продоль
3800—3900
Слюда (мусковіт)
—
ний) 30
1300
Кварц плавлений
—
5
1700
Стекло
—
30—120
—
Кераміка
Глиноземиста
Магнезійна
—
—
46—70 (20—100°c)
70—80 (20—100°c)
2000
1600
Таблиця. 2.—Органические конструкційні матеріали
Матеріал
Швидкість газовідділення при t 20°С
Коефіцієнт газопроникності при t 20°С
м 3 -м
сек•м 2 •н/м
cм 3 • см
сек•см 2 кгс/см 2
н•м/ ( м 2 •сек )
л•мм рт. ст. • 10 -3
сік см 2
гелій
азот
гелій
азот
Гума на основі натурального каучуку НК
(5—8) • 10 -6
(4—6)•10 -6
1,3•10 -16
2,3•10 -17
1,3•10 -7
2,3 • 10 -8
Гума на основі синтетичного каучуку нітрилу СЬКН-26
(3—4) • 10 -5
(2—3)•10 -5
5,2•10 -17
2,5•10 -18
5,2•10 -8
2,5•10 -9
Гума на основі синтетичного каучуку нітрилу СЬКН—40
(3—4) • 10 -5
(2—3)•10 -5
3,6•10 -12
3,9•10 -18
3,6•10 -8
3,9•10 -9
Гума на основі полівінілсилоксанового каучуку СЬКТВ-1