Рис. 6. Схема ВЧ(высокая частота) источника ионов: 1 — разрядная камера; 2 — обмотка колебательного контура ВЧ(высокая частота) генератора; 3 — изоляционная вставка; 4 — основание источника; 5 — отверстие отбора ионов; 6 — вытягивающий электрод.
