Мал. 6. Схема ВЧ(висока частота) джерела іонів: 1 — розрядна камера; 2 — обмотка коливального контура ВЧ(висока частота) генератора; 3 — ізоляційна вставка; 4 — підстава джерела; 5 — отвір відбору іонів; 6 — витягуючий електрод.
