Силіціювання, поверхневе або об'ємне насичення матеріалу кремнієм. Виробляється обробкою матеріалу в парах кремнію, що утворюються при високій температурі над кремнієвою засипкою, або в газовому середовищі, хлорсилани, що містить, що відновлюються воднем (наприклад, по реакції Sici 4 + 2h 2 = Si + 4HC1). Застосовується переважно як засіб захисту тугоплавких металів (W, Мо, Ta, Ti і ін.) від окислення. Стійкість до окислення обумовлюється освітою при С. щільних дифузійних силіцидних покриттів, що «самозалечивающихся» (Wsi 2 , Mosi 2 і ін.). Широке вживання знаходить силіцированний графить .
