|
Мал. 5. Схема реєстрації інформації про об'єкт, що отримується в РЕМ. 1 — первинний пучок електронів; 2 — детектор вторинних електронів; 3 — детектор рентгенівського випромінювання; 4 — детектор відбитих електронів; 5 — детектор світлового випромінювання; 6 — детектор минулих електронів; 7 — прилад для виміру наведеного на об'єкті електричного потенціалу; 8 — прилад для виміру струму минулих через об'єкт електронів; 9 — прилад для виміру струму поглинених в об'єкті електронів.
|
