|
Мал. 4. Растровий електронний мікроскоп (РЕМ): 1 - ізолятор електронної гармати; 2 - розжарюваний v-образній катод; 3 - фокусуючий електрод; 4 - анод; 5 - блок двох конденсорних лінз; 6 - діафрагма; 7 - двох'ярусна система, що відхиляє; 8 - об'єктив; 9 - діафрагма; 10 - об'єкт; 11 - детектор вторинних електронів; 12 - кристалічний спектрометр; 13 - пропорційний лічильник; 14 - попередній підсилювач; 15 - блок посилення: 16, 17 - апаратура для реєстрації рентгенівського випромінювання; 18 - блок посилення; 19 - блок регулювання збільшення; 20, 21 - блоки горизонтальної і вертикальної розгорток; 22, 23 - електроннопроменеві трубки.
|
