|
Мал. 3. Надвисоковольтний електронний мікроскоп (СВЕМ): 1 — бак, в який накачується електроізоляційний газ (елегаз) до тиску 3—5 атм; 2 — електронна гармата; 3 — прискорювальна трубка; 4 — конденсатори високовольтного джерела; 5 — блок конденсорних лінз; 6 — об'єктив; 7, 8, 9— проекційні лінзи; 10 — світловий мікроскоп; 11 — пульт управління.
|
