Іонно-сорбційний насос
 
а б в г д е ж з и й к л м н о п р с т у ф х ц ч ш щ ъ ы ь э ю я
 

Іонно-сорбційний насос

іонно-сорбційний насос, вакуумний насос, в якому хімічно активні гази віддаляються за рахунок сорбції їх геттерамі, а інертні гази — в результаті інтенсивної іонізації у вигляді іонів під дією електричного поля. С помощью І.-с. н. досягають розрідження 10 -7 н / м-код 2 (10 -9 мм рт. ст .).